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壓力傳感器(變送器)用擴散硅芯的技術特點

返回列表 來源:京儀股份 發布日期:2020-06-23 11:08

本文壓力傳感器(變送器)用擴散硅芯的技術特點資料由優質變送器生產報價廠家為您提供。

 

擴散硅芯是制造壓力傳感器和變送器的核心。作為一種高性能敏感元件,它可以很容易地放大并組裝成具有標準信號輸出的發射器。廣泛用于石油、化工、冶金、電力、電子系統、航空航天、醫療、化工、汽車、機電設備等行業的過程控制。

壓力傳感器(變送器)用擴散硅芯的技術特點

擴散硅壓敏元件封裝在316L材料中,施加的壓力通過密封在內部的不銹鋼膜片和硅油傳遞到敏感芯片。敏感元件不直接接觸被測介質,形成全固態結構進行壓力測量,因此適用于各種環境,包括惡劣的腐蝕性介質環境。

壓力芯體外增加氟橡膠O型圈,壓力密封可靠,組裝方便。

產品特點:進口壓力芯片,高性能,固態,高可靠性

壓力傳感器(變送器)用擴散硅芯的技術特點

硅壓阻充油芯(擴散硅壓力傳感器)的技術特點;

1.高靈敏度

擴散硅敏感電阻的靈敏度比金屬應變片高5080倍,其滿量程信號輸出約為80-100mv。本發明對接口電路有很好的適應性,相應的應用成本較低。由于其輸入激勵電壓低,輸出信號大,無機械運動部件損耗,分辨率極高。

2.高精度

擴散硅壓力傳感器的感覺、靈敏轉換和檢測一體化,轉換環節沒有機械運動部件連接,重復性和遲滯誤差非常小。由于硅材料的剛性好,變形小,傳感器的線性度也很好,所以綜合測量精度很高。

3.高可靠性

擴散硅敏感膜片的彈性變形量級為微應變,膜片的最大位移量級為微米級,沒有機械磨損、疲勞和老化。平均無故障時間長,性能穩定,可靠性高。

4.高頻響應

由于敏感隔膜硅材料本身的高固有頻率,其通常為50KC。制造過程采用集成工藝,膜片的有效面積可以很小,配合特殊的剛性結構前置設計,使得傳感器的頻率響應很高,使用帶寬可以達到零頻率到100千赫。

5.良好的溫度性能

隨著集成技術的發展,擴散硅敏感膜的四個電阻的一致性得到了進一步提高。原有的手動補償已被激光電阻調節和計算機自動微調技術所取代。傳感器的零位和靈敏度溫度系數達到了10-5/℃

6.良好的耐電擊穿性

由于特殊的材料和組裝工藝,擴散硅傳感器不僅能在130℃下正常使用,而且能在強磁場和高壓擊穿試驗中抵抗1500伏/交流電壓的沖擊。

7.良好的耐腐蝕性

由于其優異的耐化學腐蝕性,即使傳感器的承壓表面未被隔離,擴散硅材料也能適應各種常用介質。硅材料與硅油具有良好的相容性,這使其在被防腐材料隔離時更容易實現結構和工藝。結合其低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質安全防爆,可替代多種同類型、同功能的產品,具有最佳的性價比。

 

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